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工作温度 | 其他 | 结构形式 | 其他 |
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类型(通道位置) | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
流动方向 | 其他 | 压力环境 | 其他 |
应用领域 | 综合 | 种类 | 其他 |
真空阀(Vacuum Valve)是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。
MIYUKI美幸辉 真空阀 ABR-C63
MIYUKI美幸辉 真空阀 ABR-C63
L 型阀
AB/AE/ABR/AER 系列
轴封方式(波纹管密封、O 形圈密封)可根据使用目的选择。
16A~50A 可用于单作用和双作用。
所有尺寸均与反压兼容。
真空阀(Vacuum Valve)是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。由于真空系统对密封性、材料放气率和耐压差有严格要求,真空阀的设计与普通阀门有显著区别。
真空阀的特点
特殊密封结构
金属密封(如铜垫圈、无氧铜刀口密封)适用于超高真空(UHV)环境,橡胶密封(如氟橡胶、丁腈橡胶)适用于中低真空。
无油设计
高洁净真空阀采用干式(无润滑)结构,避免油蒸气污染真空环境,适用于半导体和光学镀膜行业。
多种驱动方式
手动、气动、电动或电磁驱动,适应不同自动化需求。
真空阀根据工作原理可分为:
截止型真空阀(如真空挡板阀、真空蝶阀)——用于切断或接通气流。
调节型真空阀(如真空微调阀、针阀)——用于精确控制气体流量和压力。
放气阀(如真空破空阀)——用于向真空腔体引入大气,平衡压力。
真空阀广泛应用于半导体制造、真空镀膜、航天模拟、粒子加速器、医疗设备等领域,是真空系统的关键组件。