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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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产品介绍
Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
■ 在节能、体积小、轻量化方面是同类产品中好的干式真空泵之一。
极限压力下的功耗：400W 占地面积
：0.11m2
重量：60 kg
■ 根据用途提供产品规格。
ER100D：非常适合轻负载排气和清洁工艺
ER100DC：使用具有高耐腐蚀性的材料来承受腐蚀性气体排放
Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们特创的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。
?清洁排气
、溅射设备、粗拉
、TMP等高真空泵的辅助泵
、负载锁室、运输室排气
、小型实验设备排气、吸附
和测量系统
、分析和测量设备
排气、小型炉排气
?电子枪源、离子枪源排气
| 型 | ER100D/ER100DC （耐腐蚀型） | |
| 抽速 （L/min） | 1670 | |
| 测试极限压力 （Pa） | 5.0 | |
| 极限压力下的功耗 （W） | 400 | |
| 权力 | 电压 （V） | 200-220 |
| 频率 （Hz） | 50/60 | |
| 相数 | 三个阶段 | |
| 电源容量 （kVA） | 3.2 | |
| N2 吹扫气体流速 （Pa·m3/s） | 17-20 | |
| 冷却方式 | 水冷式 | |
| 冷却水量?。↙/min） | 1.5-3.0 | |
| 冷却水温度 （°C） | 最多 30 个 | |
| 重量 （kg） | 60 | |
[支持的气体种类]
根据吸入气体的类型，可能会导致内部组件劣化。
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