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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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- 汪雅琪
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产品介绍
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
?半导体制造
?电子枪排气、离子源排气
?FPD 制造
?表面处理、表面改性
?各种电子元件的制造
?分析、检测设备
?管材、光学元件的制造
?加速器、放射线设施、聚变研究
?热处理
?研发
* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
[ 工作环境温度 ]
极限压力保证环境温度为 10~23°C。 允许环境温度为风冷 10~32°C，水冷 10~40°C。 极限压力保证：冷却水温度不大于30°C，允许冷却水温度为10~35°C。
[ 支持的气体类型 ]
根据吸入气体的类型，它可能会使轴承润滑脂和内部组件变质。 请联系我们了解兼容的气体类型。
| 型 | TG1100F | TG1100F*A*-60/TG1100F*宽* | |
| 进气法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 | ||
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1100 | |
| N2（带保护网） （升/秒） | 1000 | ||
| H2 （升/秒） | 720 | ||
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 极限压力 | （帕/托尔） | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| 最大气体流速※1※2 | （SCCM） | 330 | 860 |
| 启动时间※2 | （分钟） | 7-9 | 5.5-7 |
| ?；奔?/span>※2 | （分钟） | 27-32 | 12-15 |
| 允许的辅助压力 | （帕/托尔） | 330/2.5 | |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧250 | |
| 安装姿势 | 自由 | ||
| 质量 | VG/ISO-B/CF（千克） | 28/27 | |
| 控制器类型 | TC1104 系列 | TC1103 系列※3 | |
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