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TG350FOsaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
参考价: 3800
订货量: 1
具体成交价以合同协议为准
  • TG350F 产品型号
  • OSAKA大阪真空 品牌
  • 经销商 厂商性质
  • 成都市 所在地

访问次数:101更新时间:2025-03-27 15:49:14

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产品简介
应用领域 环保,化工,电子/电池,电气,综合
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信
产品介绍

Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵

?半导体制造

?电子枪排气、离子源排气

?FPD 制造

?表面处理、表面改性

?各种电子元件的制造

?分析、检测设备

?管材、光学元件的制造

?加速器、放射线设施、聚变研究

?热处理

?研发

* 排放腐蚀性气体时,请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。


Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵

灵活的安装姿势

紧凑的尺寸

节能

可快速停止排气

结构耐大气层进入

可以进行串行通信

符合安全标准的 NRTL/SEMI-S2/CE


[使用环境温度] 极限压力保证

环境温度为 10~23°C。 允许环境温度为风冷 10~32°C,水冷 10~40°C。 极限压力保证:冷却水温度不大于30°C,允许冷却水温度为10~35°C。

根据吸入气体

的类型,它可能会使轴承润滑脂和内部零件变质。 请联系我们了解兼容的气体类型。


TG350F 系列
进气法兰VG100
ISO-R100
CF100
抽速VG / ISO-R?CF
N
2 (升/秒)
350 / 330
VG / ISO-R?CF
N
2(带?;ね?(升/秒)
330 / 310
VG / ISO-R?CF
H
2 (升/秒)
210 / 210
最大压缩比N21×108
H22×103
极限压力(Pa / Torr)<1×10-6 / <7.5×10-9
最大气体流速※1(SCCM)500
启动时间(分钟)2-2.5
停机时间(分钟)5-6.5
允许的辅助压力(Pa / Torr)260 / 2
推荐的辅助泵(升/分钟)≧80
安装姿势自由
质量VG/ISO-R/CF(千克)6 / 9
控制器类型TC353 系列




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