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ULVAC愛(ài)發(fā)科 旋片式干式真空泵
什么是旋片式干式真空泵？
當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，葉片通過(guò)離心力向外滑動(dòng)，與氣缸接觸并旋轉(zhuǎn)。被氣缸、轉(zhuǎn)子和葉片包圍的空間，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，從吸氣口吸引的氣體被壓縮，從排氣口排出。
旋片式干式真空泵的特點(diǎn)
由于這是無(wú)油泵，因此空氣從氣缸和轉(zhuǎn)子之間的間隙回流是不可避免的。多葉片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，盡可能防止回流。由于其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且能在低真空范圍內(nèi)達(dá)到較高的抽速，因此被廣泛用作抽吸和輸送機(jī)械的真空源。
【優(yōu)點(diǎn)】在低真空范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高排氣速度。
【缺點(diǎn)】葉片會(huì)產(chǎn)生磨損碎屑。它噪音很大并且會(huì)產(chǎn)生大量熱量。
旋片式干式真空泵的工作原理
當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，離心力使葉片向外滑動(dòng)并與氣缸接觸旋轉(zhuǎn)。
當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)進(jìn)氣口吸入的氣體在氣缸、轉(zhuǎn)子和葉片所包圍的空間中被壓縮，然后從排氣口排出。
旋片式干式真空泵的主要用途
電子電氣行業(yè)、食品機(jī)械行業(yè)、包裝機(jī)械行業(yè)、印刷設(shè)備行業(yè)、牙科行業(yè)、產(chǎn)業(yè)機(jī)械行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)的真空源（吸附/抽吸）、包裝機(jī)、濾油機(jī)、
應(yīng)用領(lǐng)域
?半導(dǎo)體制造：用于真空鍍膜、真空熱處理等工藝過(guò)程。用于晶圓制造、芯片封裝和測(cè)試等環(huán)節(jié)。
?食品加工：用于食品包裝和儲(chǔ)存過(guò)程中的真空處理。?
?制藥行業(yè)：用于藥品的混合、干燥和包裝等環(huán)節(jié)。?
實(shí)驗(yàn)室：科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)，如物理、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)。
真空冶金：用于在真空中進(jìn)行金屬和合金的冶煉、提純和精煉等。
化工行業(yè)：用于真空蒸餾、真空干燥等工藝過(guò)程。
光伏產(chǎn)業(yè)?：在光伏電池的生產(chǎn)中，旋片式干式真空泵用于電池片的清洗、蝕刻和沉積等工藝。
?顯示技術(shù)?：在液晶顯示（LCD）和有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）顯示器的制造過(guò)程中，旋片式干式真空泵用于基板清洗、真空沉積和封裝等工序。
?電子元器件封裝?：在電子元器件的封裝過(guò)程中，旋片式干式真空泵用于去除封裝過(guò)程中的氣體。
