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ULVAC愛發(fā)科 油旋片真空泵 應用
什么是油旋片真空泵？
油旋轉(zhuǎn)真空泵是指通過油來減少轉(zhuǎn)子、定子、滑動葉片等部件之間的機密和無效空間的容積移送型真空泵。
油旋片真空泵的特點
油旋片真空泵使用真空泵油使旋轉(zhuǎn)部件的運動更加平穩(wěn)，并使用真空密封來提高氣密性，從而實現(xiàn)高排氣性能。此外，它是效率高的泵類型，可以在大氣壓至高真空范圍內(nèi)有效運行，并且是一種可提供穩(wěn)定泵送性能的高可靠性泵。
【優(yōu)點】價格便宜、結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便、容易獲得10Pa以下的真空。
[缺點] 真空泵油的處理比較復雜。
油旋轉(zhuǎn)真空泵的工作原理
油旋片真空泵大致分為三種類型。
1）旋轉(zhuǎn)翼型油旋轉(zhuǎn)真空泵
該泵裝有兩個葉片，安裝在汽缸內(nèi)側(cè)的轉(zhuǎn)子上。該葉片將氣缸內(nèi)分成三個空間。被分割的空間的氣體隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)被壓縮，并以周期性變化的方式通過排氣閥排放到大氣中。油起到潤滑軸承部、冷卻、提高葉片和氣缸氣密性的密封作用。
2）凸輪式油回轉(zhuǎn)真空泵
偏心轉(zhuǎn)子安裝在圓柱形定子的中心，轉(zhuǎn)子的一部分與定子接觸并旋轉(zhuǎn)。進氣側(cè)和排氣側(cè)均安裝有可上下移動的葉片作為密封件。在轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一圈的過程中，定子和轉(zhuǎn)子之間的間隙被抽空以產(chǎn)生真空。
3）擺動活塞式油回轉(zhuǎn)真空泵
沿導向段滑動的活塞因偏心轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而上下擺動，改變活塞與氣缸所圍成的空間的容積，從而輸送氣體。
油旋片真空泵的主要用途
食品、卡盤、真空爐、泄漏系統(tǒng)、浸漬裝置、激光、涂層、化學、醫(yī)療、中央真空系統(tǒng)等
應用行業(yè)：
制造業(yè)、半導體與集成電路行業(yè)、醫(yī)療器械、航空航天與國防、食品與藥品行業(yè)、化學與精細化工行業(yè)、真空鍍膜與表面處理、科研與實驗室、紡織與印刷、能源行業(yè)等。
制造業(yè)
在制造業(yè)中，油式旋片真空泵常用于工業(yè)氣體處理、氣瓶搬運與真空干燥，確保生產(chǎn)環(huán)境的清潔和安全，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量?。
半導體與集成電路行業(yè)
在半導體制造過程中，油式旋片真空泵被廣泛應用于晶圓清洗、光刻、刻蝕、薄膜沉積等多個關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，提供高純度的真空環(huán)境，確保半導體器件的性能穩(wěn)定和質(zhì)量?。
醫(yī)療器械
在醫(yī)療行業(yè)中，油式旋片真空泵用于醫(yī)療設(shè)備如血壓計、血液分析器、醫(yī)用滅菌器、呼吸機等，為其提供高質(zhì)量的真空環(huán)境，提高設(shè)備的性能和精度?。
食品與藥品行業(yè)
在食品和藥品的干燥過程中，油式旋片真空泵通過降低物料周圍的氣壓，使物料中的水分在較低溫度下迅速蒸發(fā)，從而保留物料的營養(yǎng)成分和活性物質(zhì)，提高干燥效率和質(zhì)量。此外，它還用于食品加工、包裝和儲存過程中的真空處理，以延長產(chǎn)品的保質(zhì)期?。
化學與精細化工行業(yè)
在化學工業(yè)中，油式旋片真空泵用于化學反應、混合、蒸餾等過程，實現(xiàn)真空環(huán)境和氣體輸送。在精細化工中，它也被用于真空過濾、真空蒸發(fā)、真空精餾等領(lǐng)域?。
真空鍍膜與表面處理
在真空鍍膜領(lǐng)域，油式旋片真空泵是構(gòu)建真空鍍膜室的重要設(shè)備之一，能夠快速抽除鍍膜室內(nèi)的空氣和其他雜質(zhì)氣體，為鍍膜過程創(chuàng)造理想的真空環(huán)境?。
科研與實驗室
在科研和實驗室環(huán)境中，油式旋片真空泵因其操作簡便、性能穩(wěn)定而備受青睞，能夠滿足各種科學實驗對真空度的不同需求?。
航空航天與國防
在航空航天領(lǐng)域，油式旋片真空泵用于模擬太空環(huán)境、測試航天器部件以及支持空間科學實驗等，其高可靠性和長壽命特點使其成為航天器上真空系統(tǒng)的理想選擇?。
其他行業(yè)
在紡織和印刷行業(yè)中，油式旋片真空泵用于真空包裝、真空吸盤搬運等。
在能源行業(yè)，如太陽能光伏板的制造過程中，油式旋片真空泵也用于相關(guān)工藝步驟。?
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