ULVAC日本爱发科涡旋式干泵DIS-252

ULVAC日本爱发科涡旋式干泵DIS-252

日本爱发科（ULVAC）螺杆型干式真空泵具有多种优势，以下为你详细介绍：

产品特点高速排气与低功耗：如 LS 系列通过螺杆形状和节电技术的融合，实现了兼顾高速排气和低功耗的性能，在接近大气压时具有高抽速，能大幅缩短抽气时间，同时采用 ECO - SHOCK 技术，显著降低了功耗，在极限压力下功耗可达行业的 0.6kW 或更低。

耐腐蚀性强：MS 系列等产品对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，可降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度，能适应多种复杂工艺环境123。

排粉性能好：采用 ULVAC 设计的转子轴，实现了高性能的排粉，适用于有粉末产生的工艺，如半导体制造中的蚀刻、灰化等工艺。

运行安静平稳：内置消音器，噪音水平低，如 LS 系列噪音可控制在 61dB（A）或以下，同时运行振动小，可提供安静的工作环境。

全压力范围运行：从大气压到极限压力，可在全压力区域连续运行，能满足不同工艺阶段对真空度的要求。

产品系列及应用LS 系列：有多种型号，抽速范围在 120 - 1200m3/h，根据用途分为 C 型（清洁工艺）和 L 型（轻工艺）。C 型适用于涉及空气、氮气等清洁气体的工艺，如溅射、气相沉积、层压、负载锁定室等；L 型适用于涉及蒸汽和其他难处理气体的工艺，如真空干燥、冷冻干燥、灰化、一般工业用途等。

MS 系列：是在 LS 系列基础上改进的工艺耐受型，抽速有 115m3/h（MS120A）、560m3/h（MS600A）和 980m3/h（MS1200A）等不同规格，极限压力可达 0.1Pa 以下。应用于半导体和电子器件制造设备的真空排气系统，如蚀刻设备、去胶设备、等离子清洗设备等；真空热处理炉的排气系统，如烧结炉、渗碳炉等；锂电池制造设备的真空排气系统，如电极干燥设备、脱气设备、注液设备等；医疗及食品相关设备，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。