KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特點

抽速大：最大抽速可達 1500L/min，能快速抽取氣體，可滿足半導(dǎo)體、光電顯示等行業(yè)苛刻工藝對真空效率的高要求。

極限壓力低：極限真空度低至 1.3Pa，在不使用氮氣吹掃的情況下也能維持高性能穩(wěn)定運行，可提供高真空度環(huán)境。

干式運行：采用無油結(jié)構(gòu)，避免了油污染風(fēng)險，特別適用于潔凈室環(huán)境和對純度要求高的工藝。

結(jié)構(gòu)可靠：垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積，延長泵體使用壽命，提高了運行的穩(wěn)定性和可靠性。

耐腐蝕性強：配備高耐腐蝕材料與溫控系統(tǒng)，能夠適應(yīng)處理腐蝕性和反應(yīng)性氣體，可在惡劣的工藝環(huán)境中穩(wěn)定工作。

防止冷凝積碳：前級加熱排氣配管系統(tǒng)可防止冷凝和積碳，增強了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

溫度控制靈活：多級溫控系統(tǒng)可根據(jù)不同應(yīng)用調(diào)節(jié)泵體溫度，提高了泵對不同工藝的兼容性。

環(huán)保性能好：除害裝置聯(lián)動接口支持等離子、燃燒、冷凝等除害方式接入，提升了環(huán)保性能，便于對排出氣體進行處理。

便于監(jiān)控：遠(yuǎn)程監(jiān)控與報警系統(tǒng)可實時掌握泵體運行狀態(tài)，便于系統(tǒng)集成與自動化管理，能及時發(fā)現(xiàn)并處理問題。

噪音低：運行時產(chǎn)生的噪音僅為 56dB（A），有助于營造相對安靜的工作環(huán)境。