日本进口USHIO牛尾MIKASA光刻机M-1S

操作方式与对准精度：属于手动操作、接触式对准曝光机，使用对物镜 20× 时，对准精度 < 1.2μm，能够较为精确地将掩模上的图案对准到晶圆或基板上，保证图案转移的准确性。

基板适用范围：有可对应 5×5mm - 100×100mm 以及 1 英寸 - 6 英寸的基板的各类机种，适用范围较广，

可满足不同尺寸基板的光刻需求，无论是小型的实验用基板还是较大尺寸的半导体晶圆，都能进行处理。

曝光波长：曝光波长为多频率（h.i.g 线），这种多频率的光源可以满足不同光刻胶对曝光波长的要求，提高了光刻机对不同光刻工艺的适应性。

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