SONIC超声波微液体流量计μLF-300S

时间：2025/4/15阅读：331

微量液体流量计μLF-300S.png

用于IPA、纯水、药液等半导体制造工序中微小区域的流量控制

测量1ml/min以上的微小流量利用数字信号处理高精度测量微小流量

-传感器部的结构不与流体接触范围广

μLF-300S

模型	μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸）
测量原理	超声波传播时间差法
待测液体	纯水、水溶液、各种化学溶液 * 使用水以外的液体时，请事先确认。
适用流体温度范围	15℃～80℃ *60℃以上使用请提前确认
流体压力	0.5MPa以下
流体运动粘度	100mm^2/秒或更小
流量范围	0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I)
测量精度	±0.5%RD（1/8英寸：200～1000ml/min 条件：室温、恒温水） ±1ml/min（1/8英寸：0～199ml/min） ±0.5%RD（1/4英寸： 0～199ml/min） 800～4000ml/min 条件：室温、恒温水） ±4ml/min（1/4英寸：0～799ml/min）
重复性	±0.2%（纯品，液温±0.5℃，30秒平均值）
电源	直流24V±10%
功耗	3.6W以下
重量	转换器240g，检测器70g
尺寸宽x高x深(毫米)	转换器 97 x 49 x 127 检测器 90 x 25 x 20（不含管）
检测部分
管材	PFA（氟树脂）
管径	1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米
结构	相当于IP65
附带电缆	5m，连接器连接
输入部分
数字输出	4 线 RS-422、4 线 RS-485
模拟输出	4-20mA（瞬时流量），负载电阻500Ω以下
集成脉冲输出	1ch（集电极开路）
报警输出	1ch（集电极开路）
接点输入	1ch（零流量设置或积分清除）
按键输入	4个输入按钮

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