图像 | 代号 | 材料 | 大小 | 绘图 | |
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L | W | ||||
![]() | 编号 C001 | 碳纤维尼龙树脂(集换式卡牌) | 145 | 14 | 细节 |
![]() | 编号 C002 | 细节 | |||
![]() | 编号 C003 | 细节 |
真空镊子的本体由含有碳纤维的尼龙树脂(交易卡)制成,具有优异的物理性能和导电性。 此外,内部阀门部分由含氟聚合物制成,周围区域通过一种不影响气密性的特殊成型方法用碳纤维覆盖。 因此,可以通过类似于传统 F 系列的轻型开闭作来打开和关闭阀门。 ()
吸附由具有优异耐化学性、耐热性和韧性的 PEEK 树脂材料制成,并经过机械加工、热处理和镜面处理,可在长期使用中保持稳定的性能。 此外,碳纳米管的添加使得在低填料含量下管理高度的导电性成为可能。
吸附吸头有多种尺寸可供选择,并且可以从每种晶圆尺寸中选择各种晶圆尺寸。
管子有 Φ3×5、Φ4×6 两种尺寸。
图像 | 代号 | 材料 | 大小 | 绘图 | |
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L | W | ||||
![]() | F001 系列 | 4F-PTFE 铁氟龙 | 145 | 14 | 细节 |
![]() | F002 系列 | 细节 | |||
![]() | F003 系列 | 细节 |
真空镊子的主体由含氟聚合物 (4F-PTFE) 制成。 巧妙地结合了这种树脂的优异特性的精密加工确保了气密性和耐用性等长期稳定的性能。
吸附由 PEEK 制成,具有优异的耐化学性、耐热性和机械强度,并经过机械加工、热处理和镜面处理,可长期保持稳定的性能。
吸附吸头有多种尺寸和材料,每种晶圆尺寸都可以选择各种晶圆尺寸。
管子有 Φ3×5、Φ4×6 两种尺寸。
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