日本HOYA豪雅

HSL系列激光振蕩器的技術(shù)架構(gòu)

日本HOYA豪雅HSL-5500III/5000III采用雙直線襯套諧振結(jié)構(gòu)，激光頭與框架使用高剛性合金材料，抗振性能達(dá)傳統(tǒng)型號(hào)200%，XY軸向操作穩(wěn)定性提升顯著。系統(tǒng)配備石英防塵罩（氣密性提升3倍）與PFN激光電源，通過(guò)電動(dòng)狹縫實(shí)現(xiàn)±5μm級(jí)精度調(diào)節(jié)，支持4組加工參數(shù)記憶功能，滿足半導(dǎo)體晶圓修復(fù)等高精度需求。

核心性能優(yōu)勢(shì)

環(huán)境適應(yīng)性：

溫度補(bǔ)償諧振器可將光路偏移控制在0.01mm/℃內(nèi)，適應(yīng)5-40℃工作環(huán)境

模塊化設(shè)計(jì)允許快速更換激光管（壽命2000小時(shí)）與過(guò)濾器（單觸式更換）

能效比優(yōu)化：

空冷式HSL-4000III機(jī)型無(wú)需外接冷卻水，能耗降低40%

軟件線性調(diào)控系統(tǒng)可實(shí)時(shí)匹配1064nm/532nm/355nm多波長(zhǎng)輸出

行業(yè)應(yīng)用實(shí)績(jī)：

*累計(jì)裝機(jī)超2000臺(tái)，主要應(yīng)用于：

? FPC柔性電路板激光鉆孔（最小孔徑20μm）

? 液晶面板ITO膜層修復(fù)（定位精度±3μm）

? 醫(yī)療設(shè)備精密焊接（熱影響區(qū)＜50μm）

技術(shù)演進(jìn)方向

2025年新款HSL-6000系列將集成AI實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，通過(guò)光譜分析自動(dòng)補(bǔ)償能量波動(dòng)，預(yù)計(jì)加工效率提升15%?，F(xiàn)有HSL-5500III已通過(guò)CE認(rèn)證與RoHS環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，支持定制化光路擴(kuò)展接口。

日本HOYA豪雅