COSMOS新宇宙PS-8M半導(dǎo)體工廠用氣體檢測儀PS-8N

COSMOS新宇宙PS-8M半導(dǎo)體工廠用氣體檢測儀PS-8N

 Cosmos型氣體檢測儀PS-8 系列

特點(diǎn)/用途/產(chǎn)品外觀 

規(guī)格 

下載 

相關(guān)產(chǎn)品

特征

半導(dǎo)體工廠用氣體檢測儀

采用替代校準(zhǔn)傳感器單元的“Cosmos 系統(tǒng)*"

我們專有的熱線半導(dǎo)體氫化物傳感器具有較長的使用壽命（即將推出）

可視性出色的大型液晶顯示屏讓您一眼就能掌握現(xiàn)場情況

兼容 PoE，減少布線并輕松無縫連接到 PLC

前部可輕松更換傳感器

通過使用子單元/擴(kuò)展單元，您可以根據(jù)所用氣體的類型和數(shù)量組合傳感器。

*Cosmos系統(tǒng)

于1997年推出，是一種無需在安裝現(xiàn)場進(jìn)行氣體校準(zhǔn)，并通過回收傳感器盡可能降低運(yùn)行成本的系統(tǒng)。

目的

用于檢測半導(dǎo)體工廠的半導(dǎo)體材料氣體泄漏

◆便攜式（Cosmos型）半導(dǎo)體材料氣體檢測儀　XPS-7II

◆便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀　XP-703DIII

規(guī)格

模型 主機(jī)：PS-8N、PS-8M

子機(jī)：PS-8S 

兼容傳感器原理 恒電位電解、熱絲半導(dǎo)體、原電池 

采樣方法 泵吸入式（約0.5L/min±20%自動吸入流量控制） 

被檢測氣體 根據(jù)規(guī)格 

檢測范圍 根據(jù)規(guī)格 

展示 單色LCD全點(diǎn)陣顯示屏

氣體濃度：5位顯示（帶單位）

其他：氣體名稱顯示、流量狀態(tài)顯示、報(bào)警（第1級和第2級）狀態(tài)顯示、故障顯示

※PS-8S無此功能。顯示在主機(jī)上 

報(bào)警設(shè)定值 根據(jù)規(guī)格 

報(bào)警準(zhǔn)確率 可燃?xì)怏w：相同條件下報(bào)警設(shè)定值的±25%

有毒氣體：相同條件下報(bào)警設(shè)定值的±30%

氧氣缺乏：相同條件下±1vol% 

延遲警告 ?可燃?xì)怏w：警報(bào)設(shè)定值的1.6倍時(shí)，30秒內(nèi)

?有毒氣體：警報(bào)設(shè)定值的1.6倍時(shí)，60秒內(nèi)

?氧氣不足：濃度為10vol%時(shí)（20±2℃時(shí)），5秒內(nèi)達(dá)到18vol%為止

（上述所有氣體的配管長度及連通時(shí)間均除外） 

報(bào)警顯示 ?氣體警報(bào)第 1 級：警報(bào) 1 LED（紅色）閃爍，LCD 屏幕顯示 ALARM 1

?氣體警報(bào)第 2 級：警報(bào) 2 LED（紅色）閃爍，LCD 屏幕顯示 ALARM 2 

外部輸出 [數(shù)字信號*1]

PS-8M：以太網(wǎng)10BASE-T/100base-Tx（Modbus/TCP）

Modbus/TCP（連接臺數(shù)取決于系統(tǒng)配置）

最大傳輸距離100m（至HUB）

PS-8N、PS-8S：無

*PS-8N：使用擴(kuò)展單元MR模塊時(shí)為RS485（Modbus-RTU）

[氣體濃度模擬信號*2]

PS-8N、PS-8M：DC4-20mA（與電源共用負(fù) 子）（輸出精度：FS±0.5%以內(nèi)）

*故障報(bào)警時(shí)0.6mA以下 *包括配線電阻在內(nèi)300Ω以下

[組氣體報(bào)警接點(diǎn)（第1級和第2級）、組故障報(bào)警接點(diǎn)*3]

各1a無電壓接點(diǎn)/自動恢復(fù)

*額定負(fù)載AC125V 0.5A或DC30V 1.0A（電阻負(fù)載）

*單獨(dú)接點(diǎn)輸出需要擴(kuò)展單元 

防爆性能 非防爆 

工作溫濕度范圍 0℃至40℃（但無急劇變化）、30至85％RH（但無凝露） 

所用電源 ?PS-8N：DC24V±10%

?PS-8M：DC24V±10%或PoE（以太網(wǎng)供電，IEEE 802.3at）

?PS-8S：由主機(jī)供電 

功耗*4 CDS-7：3.5W（最大5.2W）

CDS-7（催化轉(zhuǎn)化型）：4.0W（最大5.9W）

COS-7：3.5W（最大5.2W）

CHS-7：4.0W（最大5.9W） 

尺寸、重量 ?PS-8N、PS-8M：W70mm×H124mm×D172mm（不含突起）、約850g（不含傳感器）

?PS-8S：W70mm×H124mm×D172mm（不含突起）、約770g（不含傳感器單元） 

*1 僅可使用以太網(wǎng)或擴(kuò)展單元 Modbus-RTU。

*2 主單元的模擬輸出僅供主單元使用。子單元上安裝的傳感器的模擬輸出需要擴(kuò)展單元（AO 模塊）。

擴(kuò)展單元（AO 模塊）也可從主單元上安裝的傳感器輸出模擬量，從而實(shí)現(xiàn)多芯連接。

*3 使用子單元安裝兩個(gè)或多個(gè)傳感器并使用單獨(dú)觸點(diǎn)輸出時(shí)，需使用擴(kuò)展單元（DO 模塊）。

在這種情況下，主單元上安裝的傳感器的單獨(dú)輸出將從擴(kuò)展單元輸出（主單元的觸點(diǎn)為集合輸出）。

*4 同時(shí)使用模擬輸出和數(shù)字輸出時(shí)，功耗會增加。