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日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪-成都藤田科技提供
产品信息
特点
● 采用线扫描方式检测整面薄膜
● 硬件&软件均为创新设计
● 作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援
● 实现高精度测量（已获取）
● 实现高速测量
● 不受偏差影响
● 可对应宽幅样品（TD方向大可测量10m）
式样
| 在线型 | 离线型 | |
| 膜厚范围 | 0.7~300μm*1 | |
| 测量宽度 | TD:500mm~大10m x MD1mm | TD:250mmxMD1mm |
| 测量间隔 | 10ms ~ | |
| 设备尺寸 | 81(W)x140(D)x343(H)mm | 459(H)x609(D)x927(H)mm |
| 重量 | 4kg(仅测量头) | 60kg |
| 大功耗 | AC100V 10% 125VA | |
※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定
测量案例
500mm宽的包装薄膜
核心特点：
微区测量能力：最小光斑直径3μm，搭配自动XY平台（200×200mm），实现晶圆、FPD（如OLED、ITO膜）等微小区域的精准厚度分布映射。
跨行业适用性：专为半导体（SiO?/SiN膜）、显示面板（彩色光阻）、DLC涂层等行业设计，支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。
安全与扩展性：区域传感器触发防误触机制，独立测量头支持定制化嵌入，满足在线检测（inline）与实验室研发需求。
日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪-成都藤田科技提供
成都藤田科技有限公司 - 主营产品： 德国SICK光电传感器,HEIDON新东科学表面测量机,日本 ...
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