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ESA70W半導(dǎo)體大型真空腔室真空泵 EBARA荏原
| 參考價(jià): | ￥ 23741 |
| 訂貨量: | 1臺 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- ESA70W 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：86更新時(shí)間：2025-03-26 14:59:07
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 看型號 |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 看說明l/s | 電壓 | 100V |
| 功率 | 0.4kW | 極限壓力 | 看參數(shù)pa |
| 流量 | 0.2m3/h | 排出口徑 | 1mm |
| 輸送介質(zhì) | 其他 | 外形尺寸 | 230X450X274 |
| 揚(yáng)程 | 1m | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 | 重量 | 60kg |
| 最大工作壓強(qiáng) | 0.55 |
?半導(dǎo)體工業(yè)?：在半導(dǎo)體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?。
產(chǎn)品介紹
半導(dǎo)體大型真空腔室真空泵 EBARA荏原
半導(dǎo)體大型真空腔室真空泵 EBARA荏原
應(yīng)用環(huán)節(jié)
?硅片生產(chǎn)?：在硅片生產(chǎn)過程中，干式真空泵提供高精度的真空環(huán)境，確保硅晶體的拉制質(zhì)量?。
?電池片制造?：在電池片的制造過程中，干式真空泵用于真空封裝，確保電池片中的材料質(zhì)量和性能?。
?電池組件封裝?：在電池組件的封裝過程中，干式真空泵提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保組件的質(zhì)量和性能?。
應(yīng)用行業(yè)
包括半導(dǎo)體制造、真空冶金、食品工業(yè)、科學(xué)研究院、航空航天、醫(yī)療設(shè)備、光學(xué)儀器等。
LED行業(yè)應(yīng)用
有效應(yīng)用于LED制造的各類制程中
隨著顯示器從 LCD 到 LED 到 OLED 過渡，更精確的測量和精密的控制是必需的要求。 正是基于這個(gè)原因，顯示器制造業(yè)不斷投資于新的技術(shù)和功能。
?半導(dǎo)體工業(yè)?：在半導(dǎo)體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?。
干式真空泵是一種無需液體密封或潤滑的真空設(shè)備，其工作原理基于機(jī)械運(yùn)動改變工作腔容積以實(shí)現(xiàn)氣體抽吸和壓縮。以下是對其工作原理的詳細(xì)解析：
?核心原理?
干式真空泵通過機(jī)械部件的運(yùn)動，周期性地改變密閉腔體的容積，形成吸氣、壓縮和排氣過程。由于無液體參與密封，其設(shè)計(jì)依賴于精密配合的間隙和特殊材料，確保高效密封和耐磨性。
?主要類型及工作方式?
?爪式泵（Claw Pump）?
?吸氣階段?：轉(zhuǎn)子分離時(shí)，腔體容積增大，吸入氣體。
?壓縮階段?：轉(zhuǎn)子閉合，氣體被壓縮并推向排氣口。
?排氣階段?：壓縮氣體通過排氣閥排出。
?結(jié)構(gòu)?：兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)反向旋轉(zhuǎn)。
?工作流程?：
?特點(diǎn)?：非接觸式設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)子間隙小，耐粉塵。
?螺桿式泵（Screw Pump）?
?結(jié)構(gòu)?：兩根平行螺桿（通常為單頭或雙頭螺紋）相互嚙合。
?工作流程?：螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體沿軸向被封閉在螺桿齒槽內(nèi)，從吸氣端推送至排氣端，通過容積縮小實(shí)現(xiàn)壓縮。
?特點(diǎn)?：連續(xù)排氣，振動小，適合中高真空。
?羅茨泵（Roots Pump）?
?結(jié)構(gòu)?：兩個(gè)“8"字形葉輪嚙合旋轉(zhuǎn)。
?工作流程?：葉輪高速反向旋轉(zhuǎn)，將氣體從進(jìn)氣口推向排氣口，依賴多級串聯(lián)提高壓縮比。
?特點(diǎn)?：無內(nèi)壓縮，需前級泵配合；大抽速，適合粗真空。
?渦旋泵（Scroll Pump）?
?結(jié)構(gòu)?：由動渦盤和靜渦盤組成，動盤繞靜盤中心作偏心運(yùn)動。
?工作流程?：氣體在渦旋槽內(nèi)被分隔成多個(gè)密閉腔，隨著動盤運(yùn)動，腔體向中心移動并逐漸縮小，氣體被壓縮排出。
?特點(diǎn)?：結(jié)構(gòu)緊湊，低噪音，適合潔凈環(huán)境。
?往復(fù)式活塞泵（Piston Pump）?
?結(jié)構(gòu)?：活塞在氣缸內(nèi)往復(fù)運(yùn)動，配以閥門控制氣流。
?工作流程?：活塞后移時(shí)吸氣，前移時(shí)壓縮氣體并排出。
?特點(diǎn)?：可達(dá)到較高真空度，但振動較大。
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