真空快速退火炉/德国UniTemp介绍：

德国尤尼坦大尺寸快速退火炉(12英寸) 适合光伏样品VPO-300。

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备?？焖偻嘶鹇梢栽谡婵?、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。

真空快速退火炉/德国UniTemp特点：

快速热处理、快速热退火RTP/RTA；

可在真空、甚至于高真空环境使用；

加热区域尺寸：300毫米X300毫米；

广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mmX156mm电池片，300mmX300mm电池片等。