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RTP-100/150快速退火爐為德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn)，分為RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四個型號，分別對應(yīng)4英寸、6英寸、...
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。1450度，配置loadlock ，...
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