目录:徕飞光电科技(深圳)有限公司>>波前分析设备>>波前分析仪>> 紫外高分辨率波前传感器-SID4-UV-HR
SID4-UV-HR是Phasics针对半导体应用市场需求推出的高性能的紫外波前分析仪，波长范围覆盖190nm~400nm，靶面尺寸为13.3X13.3mm2，提供512X512的采样率，同时能够提供26um的相位空间分辨率；该产品大的靶面设计及高达512X512的相位分辨率，满足了目前半导体紫外镜头的表征测试需求；
应用领域：193nm激光光束测量
半导体设备用镜头测量
半导体表面缺陷测量
SID4-UV-HR指标规格 | |
波长范围 | 190nm~400nm |
靶面尺寸 | 13.3X13.3mm2 |
相位空间分辨率 | 26um |
相位谱&光强谱采样率 | 512X512 |
相位分辨率 | <2nm RMS |
精度 | 20nm RMS |
采样频率 | 15fps |
实时相位输出频率 | 3fps（全分辨率） |
通信接口 | USB3.0 |
尺寸 | 80.3 x 78.6x 108.2mm3 |
重量 | 约600g |
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