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玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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EBABR 荏原化干式真空泵是荏原公司在真空技术领域的代表产品，以下是其工作原理和参数信息的详细介绍：
工作原理
- 多级压缩原理：EBABR 荏原化干式真空泵主要基于多级压缩的工作原理。泵由多级转子构成，每级转子由两个反向旋转的螺杆转子组成。气体从吸入口进入泵腔后，在转子的旋转作用下，被不断压缩并向排出口方向输送。随着气体在各级泵腔中依次被压缩，其压力逐渐升高，最终实现真空环境的建立和气体的排出
- 螺杆转子原理：螺杆转子是泵的核心部件，其的设计使得气体在泵腔内能够高效地进行压缩和传输。转子之间的精密配合和相互啮合，确保了气体在压缩过程中的密封性和连续性，从而提高了泵的抽气效率和真空度。转子的同步旋转通过高精度的齿轮传动系统实现，保证了运转的稳定性和可靠性
- 温度控制原理：泵在运行过程中会产生大量的热量，为了保证泵的性能和延长使用寿命，采用了先进的温度控制技术。通过在泵体上设置冷却夹套，利用冷却水的循环带走热量，将泵的温度控制在设定范围内。同时，还可以通过调节冷却水的流量和温度，实现对泵温的精确控制，以适应不同的工艺要求
参数信息
- 性能参数：以 EV - X 型为例，其最大处理风量为 10,000L/min - 30,000L/min，到达压力可达 0.5Pa在极限压力下，消耗电力约为 0.9kW - 1.5kW。不同型号可满足多种工艺需求，如酯化、CVD、灰化、离子植入、外延生长等
- 电源参数：电源规格一般为三相 200 - 220V (50/60Hz )，适用于常见的工业电源环境，能保证泵的稳定运行
- 兼容性参数：可应对腐蚀性气体，采用标准耐腐蚀性材料制造，如镍基合金等，具有优异的耐化学腐蚀性能，能适应化工、制药等行业中具有腐蚀性的气体环境不同频率（50Hz/60Hz）下保持稳定性能，可支持 CE 标志 / SEMI - S2/NRTL 等标准，具有较高的通用性和国际兼容性
- 物理参数：设计结构紧凑，占地面积小，节省了宝贵的厂房空间，便于安装在各种设备中或生产线上，尤其适用于空间有限的应用场景
产品特征
- 无油运行与清洁性能 ：实现了无油运转，在抽气过程中不会产生油污染，确保了处理的气体纯净无油，适用于对清洁度要求高的工艺过程，如半导体制造、食品加工、医疗等领域。
- 节能与经济性 ：具有低能耗的特点，搭载了荏原的节能技术，如转速自动调节功能等，可根据实际的抽气需求自动调整电机转速，降低能源消耗。在不同负荷条件下都能保持较高的运行效率，有效降低了生产运行成本。
- 耐腐蚀性 ：可耐受腐蚀性气体，采用标准耐腐蚀性材料制造，如镍基合金等，具有优异的耐化学腐蚀性能，能适应化工、制药等行业中具有腐蚀性的气体环境，延长了泵的使用寿命。
- 紧凑结构与占地小 ：设计结构紧凑，占地面积小，节省了宝贵的厂房空间，便于安装在各种设备中或生产线上，尤其适用于空间有限的应用场景。
- 智能控制与通信功能 ：具备丰富的附加功能，如通信功能等，可实现与上位机或其他设备的实时数据传输和远程监控。通过通信接口，用户可以方便地获取泵的运行参数、故障信息等，并进行远程操作和控制。
- 低噪音与高可靠性 ：运行平稳，噪音低，采用了先进的隔音技术和减震措施，降低了泵在运行过程中产生的噪音和振动，为操作人员提供了更加舒适的工作环境。同时，经过严格的质量检测和可靠性测试，确保了泵在长期运行中的稳定性和可靠性。
