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产品简介
泵轴位置 | 其他 | 抽气量 | NW50 |
---|---|---|---|
抽气速率 | 看参数l/s | 电压 | 3相/200-220V,50/60HzV |
功率 | 0.4kW | 极限压力 | 3pa |
流量 | 17~20 (2.4)m3/h | 排出口径 | NW25mm |
输送介质 | 油泵 | 外形尺寸 | 230×450×520 |
扬程 | 看参数m | 叶轮数目 | 其他 |
应用领域 | 化工,能源,电子/电池,电气,综合 | 重量 | 60kg |
最大工作压强 | 看参数 |
干式真空泵是节能、高负荷工艺的理想选择
能够在重负荷下进行处理
兼容高温控制
节能
采用耐腐蚀材料标准
耐腐蚀性增强选项
在不同频率下具有相同的性能 (50/60 Hz)
油
提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
产品介绍
日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N
日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N
荏原 (EBARA) 高温技术支持高负荷工艺,在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能,可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料,还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容,可以处理各种高负荷工艺。
型 | 单位 | EV-M20N 系列 | EV-M102N 系列 | EV-M202N 系列 | EV-M302N 系列 | EV-M502N 系列 | EV-M505SF 系列 | 电动车 EV-M802N | 电动叉车 EV-M805SF | EV-M1205SF | |
抽速 | 升/分钟 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
极限压力 | 帕 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
连接直径 | 进气口 | 西北 40 | ISO100 认证 | ISO100 认证 | ISO100 认证 | ISO160 认证 | ISO160 认证 | ISO200 认证 | ISO200 认证 | ISO200 认证 | |
排气口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
温度 | °C | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | |
注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
400V 型号 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
电源容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
近似质量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 |