聯(lián)系電話
北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年您現(xiàn)在的位置： 首頁(yè)> 公司動(dòng)態(tài)> 原裝現(xiàn)貨EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵
- 聯(lián)系人：
- 黃思宇
- 電話：
- 86-010-67868591
- 手機(jī)：
- 13693291657
- 售后：
- 13693291657
- 傳真：
- 86-010-67868591
- 地址：
- 北京市朝陽(yáng)區(qū)住邦2000商務(wù)樓A座1號(hào)樓406B
- 個(gè)性化：
- www.vbys.com
- 網(wǎng)址：
- www.bjkitazaki.com/
掃一掃訪問手機(jī)商鋪
# 2025年新品發(fā)布會(huì)#
日期：2025年4月23日
時(shí)間：8：30-18：30
近期我司新推出升級(jí)了原裝現(xiàn)貨EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵
轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和怠速功能，實(shí)現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運(yùn)營(yíng)成本。 耐腐蝕材料選項(xiàng)可用于廣泛的應(yīng)用，從負(fù)載鎖和 SEM 等輕負(fù)載應(yīng)用到腐蝕性工藝。
特長(zhǎng)
通過寬范圍溫度控制實(shí)現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體(標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕材料)
對(duì)應(yīng)應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等
| 型式 | 単位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) | |
| 排気速度 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3,000 | 3,000 | 46,000 | |
| 到達(dá)圧力 | Pa | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 接続口徑 | 吸気口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達(dá)圧力時(shí)電力概略値 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
| 電源 相／電圧／周波數(shù) | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | kVA | 4 | 7 | 7 | 12.3 | |
| 概略質(zhì)量 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 | |
