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ULVAC愛發(fā)科 雙級(jí)旋片型油回轉(zhuǎn)真空泵PVD-360-H
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機(jī)械增壓泵 （MBP） 可以直接安裝 MBP 安裝套件無(wú)需安裝即可安裝 MBP。 標(biāo)配恒溫器通過(guò)使用 恒溫器，該恒溫器可檢測(cè)泵中的異常溫度升高，并通知您油量減少或泵中的異常。 油霧過(guò)濾器：大型油箱，內(nèi)置大型油箱 （油量：23~30L），減少換油頻率。 油箱內(nèi)置了易于更換的筒式油霧過(guò)濾器。 油霧過(guò)濾器收集的油會(huì)自動(dòng)返回到泵中。 濾油器用于去除與油混合的灰塵。 用 光學(xué)薄膜沉積系統(tǒng) 反射鏡沉積設(shè)備 裝飾氣相沉積設(shè)備 薄膜收卷和沉積設(shè)備 在線濺射設(shè)備 烘烤爐 / 熱處理爐 冷凍干燥設(shè)備 泄漏測(cè)試設(shè)備 太空室
