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玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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产品介绍
HORIBA堀场微流量压力不敏感质量流量?？?/strong>
HORIBA堀场微流量压力不敏感质量流量模块
D700uF
微流量压力不敏感质量流量?？?/p>
D700uF（Micro Flow） 专为 ≤ 5SCCM 流量应用而设计。
≤ 5SCCM 流量控制在高纵横比工艺中一直非常关键。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
低至 0.025SCCM 的流量控制能力
精确的调谐气体控制，增强工艺可调性
≤ 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制
提供高生产率和更好的过程性能
内部流量计量
所有制造产品的性能可靠
状态监控功能
提供更多内部数据，实现更智能的故障预测
PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性
坚固耐用，颗粒风险更低，减少?；奔洳⒂呕?/p>
