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我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器（以下简称 MFC330），
主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高 性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控 制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值 外，进一步对气体流量控制进行温压补偿；支持多种通讯协议，可以方便高 效的与电脑、PLC、工业触摸屏、单片机等进行通讯；具有多气体测量，高 精度，高稳定性，极低零漂等特性。
MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工
业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻
蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系 统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
产品特点
精准质量流量测量/控制
快速响应、高重复性
不受温度和压力的影响
工作压差范围大：0-1MPa
低压损可选
全金属比例阀可选
集成显示器可选
经济有效的解决方案
主要参数
介质要求 洁净干燥气体
气体种类 98+气体可选
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
测量范围 0.5%F.S.（1:200）
控制范围 1%-100% FS.（1:100）
准确度 ±1% F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
控制响应时间<3 秒
预热时间 5 min（T95），30 分钟最佳
阀门 常闭式
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