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超快响应：5ms 测量响应，300ms控制响应

高重复性，宽量程比

更小体积，安装方便

无需预热，使用便捷

分阶流量控制软件，灵活配置

• 介质要求

  洁净干燥无腐蚀性气体
• 气体种类

  Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
• 量程

  0-5，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，3，4，5 slpm
• 测量和控制范围

  0.2%-100%F.S. （1:500）
• 准确度

  ±0.5%F.S.
• 重复精度

  ±0.5%F.S.
• 线性度

  ±0.2%F.S.
• 分辨率

  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可选）
• 传感器响应时间

  5ms
• 控制响应时间

  300ms
• 预热时间

  ≤1s
• 阀门

  常闭式
• 泄漏率

  1*10-11Pa.m3/sec He

• 最大工作压力

  1.1 MPa（11bar）
• 工作压差范围

  0-1 MPa
• 工作温度范围

  0-65℃（环境和气体）
• 温度范围

  0 - 98%无凝露
• 气路接头类型

  快插、快拧、卡套、VCR（可选）
• 气体接触材质

  氟橡胶、黄铜、300-系列不锈钢、硅
• 密封材质

  氟橡胶 FKM
• 防护等级

  IP40
• 安装方式

  任意方向安装
• 固定孔

  M4 ↓ 5mm
• 重量

  0.38kg

• 电气连接接口类型

  DB-9 male
• 模拟信号

  0 - 5 VDC，4-20mA（可定制）
• 输入输出阻抗

  输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<600Ω
• 量程

  0-2，10，20，30，100，300，500sccm
  0-1，2，5，10，20，30slpm
• 通信速率

  9600（默认），14400，19200，38400 bps（用户可修改）
• 电源

  15-40 VDC，100 mA

• 标况

  20℃，1 atm
• 气体选择

  可选，具体参考说明书气体系数
• 软件

  Aitoly分阶流量软件

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