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MFC300-03D 气体质量流量控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
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MFC300-03D 气体质量流量控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
超快响应：5ms 测量响应，300ms控制响应
高重复性，宽量程比
更小体积，安装方便
无需预热，使用便捷
分阶流量控制软件，灵活配置
| 满量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 5 sccm~5 slpm | 66.20 mm | 51.00 mm | 39.00 mm | 43.70 mm | 27.40 mm | 4.30 mm | 5.80 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.38 kg |
| 2.606 in | 2.008 in | 1.535 in | 1.720 in | 1.079 in | 0.169 in | 0.228 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈0.84 lb |
