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半导体行业

      发布时间:2025-01-03
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在制造半导体芯片的绝缘层(如二氧化硅薄膜)时,常用的化学气相沉积方法是使用硅烷(SiH?)和氧气(O?)作为反应气体。气体质量流量控制器(MFC)精确控制硅烷和氧气的流量,确保它们以准确的比例进入反应室。这对于生成高质量、均匀的二氧化硅薄膜至关重要。因为薄膜的厚度、成分和质量直接影响半导体器件的性能,如绝缘性能和电子迁移特性。
应用产品
MFC300-03A

气体质量流量控制器

MFC300-03D

气体质量流量控制器

MFC330-05E

气体质量流量控制器

MFC330-05S

气体质量流量控制器

MFM330


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