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一、產品介紹：CIF推出的CPC系列生產型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設計的等離子體表面處理設備，配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數(shù)生產場景

一、產品介紹：

CIF推出的CPC系列生產型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設計的等離子體表面處理設備，配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數(shù)生產場景。適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應用，設備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行，產品性能穩(wěn)定，樣品處理重復性、一致性好。

二、產品特點：

u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，0~99個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)，機器運行、停止提示。

u PLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

u 采用質量流量計，氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

u 采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

u HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

u 316不銹鋼真空倉，潔凈無污染。

u 全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質。

u 處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。

u 合理的結構設計，設備占用空間小。

u 可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。

u 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

u 使用成本低、耗損小。

u 產品性能穩(wěn)定，安裝與維護，簡便方便。

u 安全保護，倉門打開，自動關閉電源。

三、技術參數(shù)

型號	CPC15	CPC35	CPC80	CPC120	CPC150
艙體尺寸	W240xH240xD260mm	W320xH320xD350mm	W420xH400xD500mm	W500xH500xD450mm	W500xH500xD600mm
艙體容積	15L	35L	80L	120L	150L
有效尺寸	W210xD245mm	W300xD335mm	W400xD490mm	W500xxD440mm	W500xxD590mm
電極分布	2層	3-4層	6層	8-10層	10-15層
射頻電源	13.56MHz， 0-300W	13.56MHz， 0-300W	13.56MHz，0-600W	13.56MHz，0-1000W	13.56MHz，0-1000W
匹配器	自動匹配器
激發(fā)方式	電容式
電流	1.2A
時間設定	1-99分59秒
氣體穩(wěn)定時間	1分鐘
真空度	100pa以內
控制系統(tǒng)	7寸PLC觸摸屏控制
工藝氣體	2氣路 MFC（可選裝3路）
真空泵	抽速約8m3/h	抽速16m3/h	抽速40m3/h	抽速60m3/h	抽速約60m3/h
電源	AC220V 50-60Hz	AC220V 50-60Hz	AC380V 50-60Hz	AC380V 50-60Hz	AC380V 50-60Hz

備注：根據(jù)用戶要求，可選中頻電源40KHz,功率300-2000W可選。

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