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Canon FPA5000 ES4
1.Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機(jī)
光源波長(zhǎng)248nm
分辨率優(yōu)于0.13µm
用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.13µm
N.A.0.5-0.8
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場(chǎng)26mm*33mm
對(duì)準(zhǔn)精度25nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及6" 、8"、12"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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