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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> 實(shí)驗型勻膠機(jī)
v 適用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤
v 自動滴膠功能
v 支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗、控溫等功能模塊個性化定制
v 轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm
v 轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
v 加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s
v 單步時長：3000s
v 時間分辨率：0.1s
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