2024/08/02
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MarSurf LD 130
產品貨號 6720821
最高精度
用于粗糙度和輪廓
及 130 mm 測量路徑
Mahr馬爾 計量的先進技術實現(xiàn)一步完成輪廓和粗糙度測量。
MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 測量站在第一代設備經驗的基礎上，又經過系統(tǒng)化的設計。
各種應用中的測量任務越來越需要同時測量輪廓和粗糙度深度。測量儀器必須有很高的測量性能才能滿足這些要求。
亞納米級分辨率和殘余噪聲<20 nm Rz 只是一些基本要求。
| MarSurf LD 130 | 產品編號 6720821 | |
|---|---|
| 分辨率 | 0.8 nm |
| 掃描長度開始（X 方向） | 0.1 mm |
| 測量速度 | 0.02 mm/s 至 10 mm/s |
| 掃描長度末尾（X 方向） | 130 mm |
| 定位速度 | 0.02 mm/s 至 200 mm/s |
| 掃描長度 | 0.1 mm 至 130 mm |
| 導塊偏差 | 0.10 µm / 60 mm 0.20 µm / 130 mm |
| 測量力 (N) | 0.5 mN 至 30 mN，軟件可調 |
| 測頭 | 集成粗糙度和輪廓測頭系統(tǒng) |
| 測桿長度 | 100 mm、150 mm、200 mm |
| 重量 | 23 KG |
| 測量范圍 mm | 13 mm（100 mm 測桿） |
