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| 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
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TESCOM美国不锈钢减压阀调压器半导体制造用 64-5400系列 特点介绍
TESCOM 64-5400 系列高纯度减压稳压器采用 316 不锈钢电抛光、10 Ra 表面处理和 Hastelloy ® 隔膜设计。
64-54100 系列流量 Cv = 1.0，进口压力为 600 psi/41.4 bar，出口压力最高为 150 psi/10.3 bar。
应用领域
· 大宗特种气体系统（BSGS）
· 1/2"使用点· 工具连接
· 气体柜特点和优势
· 紧凑、手装和减压
· 内部体积小
· 金属对金属隔膜密封，密封性好
TESCOM美国不锈钢减压阀调压器半导体制造用 64-5400系列 规格参数
最大进口压力600 psi/41.4 bar出口压力范围30,60,100,150 psi 2.1,4.1,6.9,10.3 bar设计验证压力最大额定值的150%内置泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He工作温度PTFE座:-40°F到140°F/ -40°C到60°C特氟隆® PFA座:-40°到160°F/ - 40°C到71°C流体容量Cv=1.0衰减进口特性2.7每100 psi/0.19每6.9 bar
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