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当前位置:深圳秋山工业设备有限公司>>泵阀类>>阀>> 64-5000系列TESCOM美国绝对减压阀亚真空压力调节器
应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
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TESCOM美国绝对减压阀亚真空压力调节器 64-5000系列 特点介绍
TESCOM 64-5000 系列超高纯度、绝对/亚真空压力减压调节器可提供 10 Ra 的表面光洁度。
进口压力为 120、600 或 3500 psi/8.3、41.4 或 241 巴,出口压力范围为 50 mm Hg 绝对值 -15 至 100 psi/50 mm Hg,绝对值 -1.0 至 6.9 巴。
应用领域
· 真空压力控制
· 有毒气体分析
· 阀门歧管箱
· 气体柜
· 半导体制造特点和优势
· 负偏压控制真空和低压
· 10 Ra微英寸/0.25微米内表面光洁度
· 金属对金属隔膜密封,密封性好
TESCOM美国绝对减压阀亚真空压力调节器 64-5000系列 规格参数
最大进口压力120、600或3500磅/平方英寸8.3、41.4或241巴出口压力范围50 mm Hg
绝对值-15磅/平方英寸1.0巴50 mm Hg 绝对值-30磅/平方英寸2.1巴50 mm H g
绝对值-60磅/平方英寸4.1巴50mm Hg绝对值- 100磅/平方英尺6.9
巴设计证明压力最大额定值的150%舷内泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He
操作温度PTFE座:-40°F至140°F/ -40°C至60°C
特氟隆®座:-40至160°F/ - 40°C至71°C流体容量Cv=0.24(120磅/平方英寸/8.3巴型号)
Cv=0.15(600磅/平方英里/41.4巴型号)Cv = 0.06(3500磅/平方英寸/241巴型号)
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