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当前位置:深圳秋山工业设备有限公司>>过程控制仪器>>压力控制器>> L88SS日本YUTAKA绝压型压力控制器设备L88系列
产地类别 | 进口 | 价格区间 | 3千-6千 |
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应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
日本YUTAKA绝压型压力控制器设备L88系列 L88SS 特点介绍
L88系列是针对半导体制造气体B2H6而设计的二级减压结构的产品。
作为抑制B2H6减压生成产物的措施,中间压力为3MPa,调节阀结构为平密封型,采用PCTF调节阀座,抑制了缺陷。它也非常适合绝热膨胀变化较大的 NF3。
功能高压
焊接规范金属垫片配件调节阀结构平密封式散装气体兼容气体7 种特殊高压气体
腐蚀性气体
有毒气体以外的气体 纯
气体设备标准流量~60NL/分钟
日本YUTAKA绝压型压力控制器设备L88系列 L88SS 规格参数
源压力波动 入口压力:每0.1MPa,调节压力变化量0.00075MPa
承受压力 22.2MPa(进口侧)
CV值 0.08
工作温度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
内部容积 12.58cm(不含3个压力表及接头)
大量的 约2.4公斤
1/4" 面对面密封接头尺寸(公头)…约 88mm
1/4" 面对面密封接头尺寸(母头)…约 105mm
[备注]
■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为1/4" 外螺纹面密封接头。
■ 进出口接头的类型、尺寸和形状(外螺纹、内螺纹)组合如图所示??梢源右韵滤镜牟沸秃糯氡碇薪醒≡瘛?/p>
■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接头的面对面尺寸可能与标准面对面尺寸不同。
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