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日本進口YUTAKA半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備自由式調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)器L96系列絕壓型
L96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計的具有真空可調(diào)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。非常適合低蒸氣壓氣體。基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范，使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。
e-flow 高純度氣體壓力調(diào)節(jié)器旨在用于半導(dǎo)體工廠，是一種提高純度并最大限度地減少外部泄漏、顆粒和死區(qū)的產(chǎn)品。
它用于多種氣體，包括半導(dǎo)體工廠設(shè)施的氣瓶柜、連接裝置、閥箱以及設(shè)備制造商的集成單元。
該產(chǎn)品具有優(yōu)良的氣密性，非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性的輸送。L系列：對焊接頭、外密封金屬結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。
R系列：閥體旋入式（NPT）規(guī)格、外部軟密封結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。焊接規(guī)范為承插焊。
D系列：將L、R系列與壓力控制部分組合而成的先導(dǎo)結(jié)構(gòu)電子控制壓力調(diào)節(jié)器。
U系列：特殊規(guī)格有機加工主體、對焊規(guī)格，外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。
調(diào)節(jié)壓力 -0.1MPa～0～0.2MPa
承受壓力 22.2MPa（進口側(cè)）
CV值 0.07
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內(nèi)部容積 5.739cm（不含3個壓力表及接頭）
大量的 約1.6公斤
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