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?分辨平场光谱仪，采?全息凹球?变线距光栅进?分光，具有平场特性，便于使??阵CCD记录光谱。光栅?作在掠?射模式下，衍射效率?，同时通过选?不同的光栅型号，可以实现波?范围1~30nm的全覆盖。

产品特点：

1、高光谱分辨

2、在线精密可调狭缝

3、远程激光瞄准定位

4、结构紧凑集成度高

5、高真空兼容性

主要参数：

· 光源类型：凹面变距光栅               · 波长范围：1~30nm(选配)

· 探测器类型：科研级相机               · 高真空兼容:5x10⁵Pa

· 光谱分辨率：2500@6nm/3000@30nm（可根据需求优化）

· 在线连续可调狭缝：5μm~300μm

选配范围：

光栅参数：

应用领域：

· 强场与高能量密度物理

· 半导体与集成电路制造

· 探测器、光源计量级标定