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平场光谱仪，采用全息凹球面变线距光栅进行分光，具有平场特性，便于使用面阵CCD记录光谱。光栅工作在掠入射模式下，衍射效率高，同时通过选用不同的光栅型号，可以实现波长范围0.6~200nm的全覆盖。
平场光谱仪可应用于强场与高密度物理、半导体与集成电路制造和探测器、光源计量级标定。
主要参数：
● 光栅类型： 凹球?变线距光栅
● 波?范围： 0.6~200nm(选配)
● 光谱分辨率： 0.015nm@13.5nm， 可根据需求优化
● 探测器类型： 科研级相机
● 前置收光可选
● 具备远程激光快速瞄准定位功能
● ?真空兼容，5×10-3 Pa
● 具有5μm~300μm在线连续可调狭缝
光栅参数：
选配范围：
测试数据：
应用领域：
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