目錄:多場低溫科技（北京）有限公司>>壓電運(yùn)動(dòng)·室溫>>通孔型·掃描臺>> Carrier.SL200.XY / XYZ壓電三維掃描臺，通孔型，電容閉環(huán)傳感
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
壓電載物臺·閉環(huán) Carrier.SL200.XY / XYZ
? 針對載物臺“大行程·高精度·重負(fù)載"需求的定制化解決方案
• 兩維度 XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；
• 三維度 XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um × 200 um；
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 2 nm；
• 最大負(fù)載 500 g；
• 針對光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案；
• ?持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級；
壓電三維掃描臺，通孔型，電容閉環(huán)傳感——詳細(xì)參數(shù)：
壓電三維掃描臺，通孔型，電容閉環(huán)傳感——尺寸圖：
多場科技“壓電掃描臺·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列（標(biāo)準(zhǔn)型）和Carrier.SL 系列（輕量型）。Carrier.S & SL 系列主要針對精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場景，覆蓋載物臺“大行程·高精度·重負(fù)載"等需求，核心特點(diǎn)包括：
• 運(yùn)動(dòng)方式覆蓋線性運(yùn)動(dòng) & 俯仰運(yùn)動(dòng)
• X，Z，XY，XYZ & ZTT等運(yùn)動(dòng)形式全面支持
• 線性運(yùn)動(dòng)行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)
• 支持電容(.C) 位置傳感
• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm
• 超快運(yùn)動(dòng)響應(yīng) & 長時(shí)間疲勞測試
• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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