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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡介： 快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV 是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)
3″ ）的退火而設(shè)計(jì)， 配有 3 路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW 的紅外燈進(jìn)行加熱， 升溫速度可達(dá)
100℃/s ，配有 RS485 接口，可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。
產(chǎn)品型號(hào) | 快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 |
1、水：不需要 | |
2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 | |
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 | |
4、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | |
主要特點(diǎn) | 1 、雙層 Al2O3 纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。 |
2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 | |
3 、PID 控制器 ，可以設(shè)置 30 段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。 | |
4 、已通過 CE 認(rèn)證。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源： 單相 208V-240V AC 50Hz/60Hz 9KW |
2、石英管： 外徑 ?110mm ，內(nèi)徑 ?103mm ，長 380mm | |
3、加熱元件：紅外燈管， 直徑 ?10mm ，長 300mm | |
4、加熱區(qū)： 300mm |
5 、工作溫度： 溫度 1100℃ | |
6 、控溫精度：±0.5℃ | |
7、升溫速度： RT-800℃時(shí)為 50℃/s ，800℃-1000℃時(shí)為 10℃/s | |
8、溫控儀：可控硅（ SCR）PID 自動(dòng)控制 | |
9 、真空法蘭： 不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫 O 型圈密封，長時(shí)間在>900℃條件下 運(yùn)行必須采用水冷， 循環(huán)水流量為 0.5m3/hr | |
10、真空度： 10-3torr | |
11、流量計(jì)： 3 個(gè)， 量程 40cc/min-400cc/min ，精度 4%FS | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 爐體 760mm×330mm×530mm ，真空混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×597mm |
重量： 爐體 45kg ，真空混氣系統(tǒng) 30kg | |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì) |