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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品簡介： PCE-6 小型等離子清洗機的等離子腔體為 ?160mm×190mm 的石英腔體， 采用的射頻電源功率 3.0MHz（ 1%），輸出功率 7.2W 、10.2W 、29.6W 三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等 離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì) （如親水和疏水性等），對于基片的 清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
產(chǎn)品型號 | PCE-6 小型等離子清洗機 |
主要特點 | 1、通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。 |
2 、時間、功率、 真空度等信息顯示在一組 4 位數(shù)碼管上。
3 、設(shè)有一個三通閥， 可精確控制進氣流量， 以及大氣流清洗腔體，進氣接口為 6mm 卡套 接口。 4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源： AC220V 50/60Hz 2、輸出功率： 7.2W 、10.2W 、29.6W 3、真空泵功率： <500W |
4、總功率： <600W 5、射頻頻率： 3.0MHz ，功率 3 檔可手動調(diào)節(jié) | |
6 、等離子腔體： 高純石英腔體， ?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭 上設(shè)有 ?45mm 的觀察窗 7、真空泵： 240L/min，直連式雙旋真空泵 8、極限真空度： 50mtorr 9 、通入氣體： 可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子， 如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合氣體等（根 據(jù)材料性質(zhì)選定） | |
清洗及蝕刻 |
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產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 400mm×300mm×300mm，重量： 10.2kg |
可選配件 | 1 、2"-6"石英舟（盛放基片） |
2 、2-4 通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) |