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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品簡介： PCE-6V 小型等離子清洗機集成了 RF 等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采 用氣體作為清洗介質(zhì)， 有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵， 清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面， 可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物， 清洗程度可達到分子 級。另外， 其樣品臺可選配加熱功能， 可加負偏壓， 用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外， 其可在特定條件下根據(jù)需 要改變某些材料表面的性能。
產(chǎn)品型號 | PCE-6V 小型等離子清洗機 |
主要特點 | 1、采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。 |
2 、可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物。 3 、清洗程度可達到分子級。 4 、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。 5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消 毒和殺菌。 6 、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。 | |
7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、 微觀流體學等領域。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電壓： AC220V 10A 2、消耗功率： <500W （包括真空泵） 3 、RF 電源： 輸出功率 100W ，輸出頻率 13.56MHz |
4、腔體： ?190mm×98mm 5、石英管： ?180mm×55mm ，壁厚 7mm | |
6、內(nèi)腔： ?165mm×55mm 7、清洗電極： ?120mm 8、樣品臺： ?150mm ，有效尺寸 ?140mm 9、樣品臺與電極間距： 15mm-50mm 可調(diào) 10、抽氣管： ?12mm | |
11、極限真空度： 0.1Pa 12、工作真空度： 60Pa-500Pa 13、氣路數(shù)量： 2 路（選裝） 14、流量控制器數(shù)量： 1 、2 15、流量顯示儀： 2 通道 | |
16、氣路接口： ?6mm 17、加熱樣品臺： ?140mm ，加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃（選裝） 18、冷卻水壓力： 0.2KPa-0.4KPa 19、工作環(huán)境： 溫度 5℃-35℃，濕度<80% （相對濕度）不結(jié)露， 海拔高度 0-2000m | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 245mm×235mm×460mm （不含真空泵），重量： 20kg （不含真空泵） |
可選配置 | 1、加熱樣品臺 2、流量控制器（量程 10 、50 、100 ，最多可增加 2 個通道） |