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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng) 酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。 本機(jī)可以對(duì)涂膜機(jī)腔室進(jìn)行抽真空，使樣品在真空的狀態(tài)下進(jìn)行涂 膜，適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用，對(duì)腔體抽真空時(shí)采用樣品卡盤(pán)固定樣品。VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)不對(duì)腔體抽真空工作時(shí)利用真空盤(pán)吸附的方式將樣品固定在樣品吸盤(pán)上，該設(shè)備可儲(chǔ)存 12 組程序， 每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同， 使設(shè)備緩慢提升速度限速度， 有 利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi)，節(jié)約材料。VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn) 單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。
產(chǎn)品名稱 | VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-200PV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 |
1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口 | |
2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 | |
3、氣：不需要 | |
4、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 |
5、通風(fēng)裝置：需要 | |
主要特點(diǎn) | 1 、設(shè)有 12 組程序， 每組包含 6 個(gè)運(yùn)行階段， 每段增減速率設(shè)置范圍 2、樣品可采用真空吸附的方式進(jìn)行固定，也可采用粘結(jié)或夾持的方式進(jìn)行固定，操作簡(jiǎn)便。 3、吸盤(pán)真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán)，且更換方便簡(jiǎn)單。 6 、電機(jī)采用 24V 直流無(wú)刷電機(jī)，無(wú)級(jí)調(diào)速，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單，噪音低， 震動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 |
7 、當(dāng)用真空吸附方式固定樣品時(shí)采用無(wú)油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維 護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。 8、可在惰性氣體氣氛（如 Ar 、N2 ）下進(jìn)行涂層 9、可在真空狀態(tài)下進(jìn)行涂層，此時(shí)需要用粘接基片或夾持基片的方式對(duì)被涂基片進(jìn)行固定。 10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長(zhǎng)，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能。 11、全英文操作系統(tǒng)。 | |
12、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止. 13、控制器采用控制箱，液晶顯示數(shù)值，更直觀可靠。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源： 220V 50HZ 2、功率： 350W/24V 3、轉(zhuǎn)速： 500rpm-6000rpm 4 、可儲(chǔ)存 12 組程序， 每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段， 5、每段增減速率設(shè)置范圍： 100 rpm s—2000 rpm /s，每段時(shí)間范圍： 0-60s 6、吸盤(pán)規(guī)格：φ 100㎜ 7 、腔體真空度可達(dá) 1Torr（VRD-16 機(jī)械泵連續(xù)工作） |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：φ250mm×300mm；重量： 25kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤(pán)φ100mm
| 1 個(gè) |
2 | 卡盤(pán) 2" 3" 4"
| 1 個(gè) | |
3 | 無(wú)油真空泵
| 1 臺(tái) | |
4 | 雙擊旋片真空泵 VRD-8
| 1 臺(tái) | |
5 | 中心定位器
| 1 個(gè) | |
6 | 滴膠注射器 | 1 個(gè) | |
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可選配件 | VRD-16 機(jī)械泵
進(jìn)口移液器
國(guó)產(chǎn)移液槍 | ||
其它尺寸的真空吸盤(pán)
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相關(guān)產(chǎn)品 | 移液器 | BD-10ml 注液器
| BD-50ml 注液器
| EQ-500SP 注射泵
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ComBi-D3 涂鍍層 測(cè)厚儀
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