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PMS 橢偏在線監(jiān)測裝備03090810

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更新時間:2024-03-07 20:58:17瀏覽次數(shù):505

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:橢偏在線監(jiān)測裝備針對LCD、OLED等新型平板顯示量光學(xué)薄膜質(zhì)量控制需要,專門設(shè)計(jì)的在線薄膜測量系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

 

img1

 

 

 

產(chǎn)品簡介: 橢偏在線監(jiān)測裝備針對 LCD、OLED等新型平板顯示量光學(xué)薄膜質(zhì)量控制需要,專門設(shè)計(jì)的在線薄膜測量系統(tǒng)。可適用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件,自動實(shí)現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的全片快速掃描測量。橢偏在線監(jiān)測裝備廣泛應(yīng)用于工業(yè)中新型光電器件行業(yè)所涉及的 PI 配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/ 無機(jī)封裝薄膜大基片各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的在線式全片快速掃描測量。

產(chǎn)品型號

PMS 橢偏在線監(jiān)測裝備

主要特點(diǎn)

1、支持產(chǎn)線大基片自定義多點(diǎn)掃描測量并輸出報(bào)告

 

2、支持 193-2500nm 全波段分析測量

 

3、支持多橢偏方案,多組合集成

 

4、支持測頭模塊以及樣件機(jī)臺定制化

技術(shù)參數(shù)

測頭規(guī)格

穆勒矩陣橢偏測

光譜橢偏測頭

反射膜厚測頭

自動化程度

可變/固定角+

可變/固定角+

垂直角+

 

 

mapping

mapping

mapping

應(yīng)用定位

高階高精度型

高精度型

通用型

單次測量時間

0.5-5s

小于 1s

分析光譜

380-1000m(支持?jǐn)U展至 193-2500nm)

380-1100nm

Mapping 行程

支持行程定制化

支持樣件尺寸

安需定制化

 

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