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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品簡介： ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀，凝聚了科研團隊在橢偏技術(shù)多年的投入， 其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù)，包括消色差補償器、雙旋轉(zhuǎn)補償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等。可應用 于半導體薄膜結(jié)構(gòu)，半導體周期性納米結(jié)構(gòu)，新材料，新物理現(xiàn)象研究，平板顯示，光伏太陽能，功能性 涂料，生物和化學工程，塊狀材料分析以及各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學納米光柵常數(shù)以及一維 /二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析。
雙旋轉(zhuǎn)補償器(DRC)配置一次測量全部穆勒矩陣 16 個元素；配置自動變角器、五維樣件控制平臺等優(yōu)質(zhì)硬 件模塊，軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O計，易上手、操作便捷；豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保 證強大數(shù)據(jù)分析能力。
| 產(chǎn)品型號 | ME-L 全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀 |
| 主要特點 | 1、采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍
2、可實現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理，測量信息量更大，測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準 |
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| 3、基于雙旋轉(zhuǎn)補償器配置， 可一次測量獲得全部穆勒矩陣的 16 個元素，相對傳統(tǒng)光譜 橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息 |
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| 4、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜 |
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| 5、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料
6、集成對納米光柵的分析 度等幾何形貌信息 |
| 技術(shù)參數(shù) | 1、應用：科研級/企業(yè)級 | |
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| 2、基本功能： Psi/Delta、R/T、穆勒矩陣等光譜
3、分析光譜： 380-1000nm(支持擴展至210-1650nm)
4、單次測量時間： 1-8s | |
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| 5、重復性測量精度： 0.005nm | |
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| 6、精度(直通測量空氣)
橢偏參數(shù): ψ=45±0.05°△=0±0.1°
穆勒矩陣:對角元素 m=1±0.005； 非對角元素 m=0±0.005 | |
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| 7、光斑大?。?/span> 大光斑 2-3mm | |
| 可選配置 | 波段選擇 V:380-1000nm UV:245-1000nm XN:210-1650nm DN+:193-2500nm 角度選擇 自動:45-90° 手動:55-75°(5°步進),90° 固定:65° 其他選擇 Mapping 選擇:100×100mm(供參考,按需定制) 溫控臺:室溫一 600C(供參考,按需定制) | |
| 可選配件 | 1 | 溫控臺 |
| 2 | Mapping 擴展模塊 | |
| 3 | 真空泵 | |
| 4 | 透射吸附組件 | |
