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当前位置：> 供求商机> 写真化学通过显微图像光谱测厚仪
由于薄膜厚度是通过光学干涉法计算的，因此
薄膜厚度分布可以以 0.1 nm 或更低的分辨率以 3D 形式显示。
在显微镜视场中测量任意区域的薄膜厚度和薄膜质量分布
，并以 3D 形式显示分布
分辨率与可见光波长光学涂层测厚仪相当
波长范围从 450 nm 到 750 nm，可以 1 nm 的增量
使用与反射膜厚度监视器相同的计算引擎进行并行计算
（1） 数百层重复层压薄膜和沟槽等复合结构
（2） 用 EMA（有效介质近似）法估计亚微米图案的密度
（3） 局部结晶度评估
您可以根据工件和应用选择物镜
半导体
太阳能电池
平板显示器
玻璃（涂层）和
薄膜
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