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写真化学自动对位功能测厚仪
  • 写真化学自动对位功能测厚仪

货物所在地:北京北京市

地: 日本

更新时间:2024-11-02 15:32:59

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写真化学自动对位功能测厚仪,能够对最大 300 mm 的晶圆的整个表面进行自动涂层厚度映射测量

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映射涂层测厚仪能够在最大 300 mm 的晶圆的所有表面上自动映射膜厚测量。 自动对位功能和使用具有高平整度的晶圆卡盘可实现可靠的薄膜厚度测量。 此外,它可以安装在半导体制造设备的负载端口,以在保持清洁度的同时管理制造设备上的薄膜厚度。


  • 测量数据示例(2D 膜厚分布)层压晶圆的硅
    厚度 (nm)

  • 测量数据示例(3D 薄膜厚度分布)层压晶圆的硅厚度
    (nm)

  • 测量数据示例(薄膜厚度的频率分布)层压晶圆中的硅厚度

  • 测量数据示例(多个晶圆的膜厚分布箱线图)5 个晶圆的膜厚分布趋势


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