LINTEC林泰克高溫?zé)峤粨Q器HX-0020北崎熱賣

時(shí)間：2025/5/29閱讀：72

小型氣體加熱器（熱交換器）

瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。

小型氣體加熱器的用途

可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

各種流體加熱

該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒(méi)有腐蝕性的流體。

瞬間且穩(wěn)定的流體加熱

在配管中流動(dòng)的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點(diǎn)。

通常，配管中的流體通過(guò)配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點(diǎn)，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。

質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

在半導(dǎo)體制造工藝中，不僅需要對(duì)氣體進(jìn)行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC自主研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu)，適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。

高溫?zé)峤粨Q器HX-0100C

可將100SLM的N2氣體加熱至300℃的小型熱交換器。

特點(diǎn)

最大流量100SLM（N2換算）
最高使用溫度300℃
接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)，可加熱對(duì)其無(wú)腐蝕性的氣體
真空、加壓條件下也可使用

使用范例

氣態(tài)前驅(qū)體的預(yù)熱

由于化學(xué)反應(yīng)的效率受溫度影響，因此需要反應(yīng)氣體的溫度進(jìn)行控制。HX-0100C系列熱交換器的接觸氣體部分采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)，能夠以最高300℃的溫度加熱流體，是用于氣態(tài)前驅(qū)體預(yù)熱的理想選擇。

規(guī)格表

	流量(N2換算)	壓力損失(N2)	耐壓(G)	使用溫度	接觸氣體部分材質(zhì)
規(guī)格	100SLM	9.8kPa	1MPa	300℃	SUS316L不銹鋼

※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請(qǐng)直接致電或郵件咨詢LINTEC。

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