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日本SAKAGUCHI坂口电热激光平板瞬时加热装置EXL-CT-010-DS55
ExLASER®是一种多功能激光平面瞬时加热装置。
长处
可以实现超快的温度上升和下降。
一次性均匀加热 2 英寸基板
只有要加热的物体才能直接加热。
可根据工艺进行温度控制
在不加热大气的情况下节能
应用实例
MBE设备的基板加热
晶圆退火（SiC、GaAs等）
可以对多层器件进行表面退火（与小型化器件兼容）
日本原子能机构 日本
激光功率：100W
尺寸：H251×W200×D253（mm）
使用 EXL-CT-010DS55，对安装在真空室中的样品进行激光加热。 从样品的背面（与激光照射表面相反）测量温度分布。
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