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真空泵的工作原理是：
機(jī)驅(qū)動(dòng)的高速旋轉(zhuǎn)葉片撞擊氣體分子，被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片上，最終被送到排氣口。旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片的方向相反，使分子難于逆行。這種排氣方式，排氣速度不因氣體種類而變。
真空泵的工作過(guò)程通常可以被分為兩個(gè)階段，即抽氣階段和排氣階段。
在抽氣階段，真空泵被啟動(dòng)后，通過(guò)旋轉(zhuǎn)或者連續(xù)變化的工作腔，逐步從系統(tǒng)中抽出氣體。當(dāng)系統(tǒng)中氣體的壓力下降到一定程度時(shí)，進(jìn)入排氣階段，真空泵開(kāi)始將系統(tǒng)中的氣體排出，以此達(dá)到形成真空環(huán)境的目標(biāo)。
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