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供貨周期	現(xiàn)貨	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵

特征

'高抽速
在接近大氣壓的情況下具有高抽速，可大大縮短抽氣停機(jī)時(shí)間
低功耗
ECO-SHOCK 技術(shù)實(shí)現(xiàn)了低功耗。（C 型）
極限壓力下的功耗為行業(yè)ling 先的 0.6kW 或更低。（LS120A-C）
內(nèi)置消音器可實(shí)現(xiàn) 61dB（A）或更低的噪音水平。
運(yùn)行成本
低無(wú)軸封氣體。
*吹掃氣體為 L 型。
抽速120~1200m3/h 等級(jí) *帶機(jī)械增壓泵
根據(jù)用途可選擇最佳型號(hào)

C 型：清潔工藝（LS***A-C）
特點(diǎn) ：低功耗型（內(nèi)置 ECO-SHOCK）
應(yīng)用：用于空氣和 N2 G14 濺射 / 氣相沉積 /
層壓 / 負(fù)載鎖室 / TMP 前級(jí)泵等清潔工藝

L 型：輕制程（LS***A-L）
特點(diǎn) ：輕制程型（帶表面處理和吹掃功能）
用途：蒸汽和揮發(fā)性藥劑等輕制程 / 真空干燥 /
冷凍干燥 / 灰化 / 一般工業(yè)用途等

型	（C：C 型）（L：L 型）		LS120A型		LS300A型		LS600A型		LS1200A
			C	L	C	L	C	L	C	L
最大抽速		m3/小時(shí)	120		380		600		1000
極限壓力		帕	≦0.6		≦0.1
電源			200V 等級(jí)：3相，50/60Hz，AC200-240V 或 400V 等級(jí)：3相，50/60Hz，AC380-480V
功耗 *1		千瓦	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷卻水流量		升/分鐘	>2.0		>4.0
吹掃氣體流量 *2		SLM 系列	‐	0~50	‐	0~50	‐	0~50	‐	0~50
最大水蒸氣耐受性 *3		公斤/小時(shí)	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5
噪音 *1		分貝（A）	61		61		62		64
入口			入口 KF50（臥式）/ VG50（立式）		ISO-F-50 材質(zhì)		ISO-F-80 認(rèn)證		ISO-F-100 認(rèn)證
出口			肯氟烴40		肯氟烴40		肯氟烴40		肯氟烴40
重量		公斤	142		220		242		266
適用標(biāo)準(zhǔn)			CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附件			電源連接器、防水電纜夾、遠(yuǎn)程連接器、電源連接器防護(hù)罩
泵頭選項(xiàng)			電源：200V 級(jí)或 400V 級(jí)，密封材料：FFKM（僅限 L 型）
外部選項(xiàng)			MBP 入口法蘭適配器、Packege 排氣口、抗震支架、LR 兼容單元（入口、遠(yuǎn)程）、吹掃氣體閥

*1：極限壓力（僅供參考）
*2：C 型不提供吹掃氣體。
*3：最大水蒸氣耐受量是使用吹掃氣體時(shí)的值。
注）C 型并非無(wú)泄漏。